半導(dǎo)體生產(chǎn)制造前，必須將硅轉(zhuǎn)換為晶圓片（未切割的單晶硅材料是一種薄型圓片叫晶圓片,是半導(dǎo)體行業(yè)的原材料，切割后叫硅片，通過(guò)對(duì)硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導(dǎo)體器件），切割多采用線切割原理，在切割過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的廢砂漿。廢砂漿的主要成分為大量的聚乙二醇、碳化硅、硅粉以及少量的鐵屑。其中切割液和碳化硅具有很高的回收利用價(jià)值 。
晶圓生產(chǎn)包括：晶棒成長(zhǎng)、晶棒裁切與檢測(cè)、外徑研磨、切片、圓邊、表層研磨、蝕刻、去疵、拋光、清洗及檢驗(yàn)包裝工序；研磨過(guò)程之后需采用大量的超純水來(lái)洗凈晶圓表面所殘留的懸浮微顆?；蚪饘匐x子污染物，因而產(chǎn)生CMP研磨廢液及后段清洗廢水。
在此產(chǎn)生過(guò)程中的問(wèn)題有：1、廢水處理不當(dāng)或直接排放會(huì)污染環(huán)境；2、處理過(guò)的水不加以回收造成水資源浪費(fèi)嚴(yán)重；3傳統(tǒng)的處理方式有局限性（占地大，加藥多，污泥產(chǎn)生量多，水質(zhì)不穩(wěn)定）等問(wèn)題。
YQSTEC生產(chǎn)的過(guò)濾設(shè)備應(yīng)用：
生產(chǎn)中上層清液溢流至中間水箱，經(jīng)中間水泵將清水加壓后進(jìn)一步過(guò)濾，經(jīng)YQSTEC生產(chǎn)的10微米不銹鋼袋式過(guò)濾器、1微米的精密濾芯過(guò)濾器、活性炭吸附裝置及終端0.2微米的精密過(guò)濾器過(guò)濾之后進(jìn)入終端水箱，經(jīng)終端送水泵將系統(tǒng)完全處理的回用水送至超濾產(chǎn)水箱，可直接進(jìn)反滲透裝置以繼續(xù)生產(chǎn)超純水。
相關(guān)設(shè)備：
袋式過(guò)濾器 精密濾芯過(guò)濾器 壓濾機(jī)
相關(guān)資料：
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技術(shù)支持：
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常見(jiàn)液體粘度資料及數(shù)據(jù)參考表；
常用過(guò)濾設(shè)備-流體化學(xué)適應(yīng)性表；
規(guī)范過(guò)濾機(jī)濾布的更換、使用和維護(hù)；
過(guò)濾的基礎(chǔ)理論與技術(shù)進(jìn)展；
精細(xì)過(guò)濾及硅藻土助濾劑的應(yīng)用；
濾布常識(shí)數(shù)據(jù)及應(yīng)用范圍；
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XTC-XSX110-3 移動(dòng)小車(chē)多級(jí)串聯(lián)過(guò)濾器
XTC-SL-DSP40-XSX520 移動(dòng)小推車(chē)多級(jí)串聯(lián)過(guò)濾器
XTC-XSX920-SL25 移動(dòng)小車(chē)雙聯(lián)可切換芯式過(guò)濾系統(tǒng)
XTC-DSD10-XSX105 不銹鋼小推車(chē)過(guò)濾器
DSP40-SLT100 雙聯(lián)可切換袋式過(guò)濾器
WK5-不銹鋼微孔過(guò)濾器-PAPE剛性高分子燒結(jié)濾芯
DSCL 蚌開(kāi)多袋式過(guò)濾器
XTC-DSP20-XSX520 不銹鋼移動(dòng)小車(chē)串聯(lián)過(guò)濾器
